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散射型扫描近场光学显微镜（s-SNOM）
将光学天线技术与扫描探针技术有机结合，利用镀铂AFM探针的天线效应在探针尖端附近产生高度局域化的强光场。由于该局域强场与样品发生近场相互作用，远场测量得到的散射信号就反应了样品该区域的光学特性。测量时AFM探针工作在轻敲模式，随着针尖的上下振动，样品被测区域中信号的强度也发生周期性变化，因此对于远场散射信号也有一个周期性调制，而针尖和样品其他区域的散射光则几乎不被调制，因此很容易利用锁相放大技术将这些背景信号从探测信号中滤除。通过探针扫描样品表面，可
傅立叶变换红外光谱仪（Fourier Transform Infrared Spectrometer，简写为FTIR）
是基于对干涉后的红外光进行傅立叶变换的原理而开发的红外光谱仪，主要由红外光源、光阑、干涉仪、样品室、检测器组成，可以对样品进行定性和定量分析。 Nicolet iN10TM傅立叶红外显微光谱仪采用整体化光学设计红外显微光谱仪的干涉仪具有三维激光控制自动调整和每秒13万次高精确动态准直扫描控制的领先功能；内置EverGloTM长寿命高能量红外光源、分束器和H
矢量网络分析仪
主要用于各类有源及无源器件幅频及相频特性的检测分析，尤其适用于各类滤波器的特性检测及压电器件各阶共振频率的获取。扫描频率范围：9kHz - 3GHz；双端口双向测试；扫描信号动态范围：130 dB；50Ω阻抗匹配。
低温近场光学显微镜
PEEM(Photoemission Electron Microscope)光发射电子显微镜
光发射电子显微镜是一种功能极为强大的表面成像技术，通过观察样品表面发射的电子，可以获得极高分辨率的表面形貌、化学成分和磁性信息。可用于光激发材料及器件的光电子的成像、能谱表征等。
pecvd
等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）可用于单壁、多壁碳纳米管和石墨烯的生长。其等离子体放电过程中行程的电场，既可以降低生长温度，也可以辅助碳纳米管直立生长。
X射线测试平台
主要用于冷阴极X射线源的成像性能测试，可分别测试动态真空X射线源和封闭式X射线源成像效果，配有数字X射线探测器和微米级精度电控位移台，以及正、负高压电源，已实现微米级空间分辨成像效果。
飞秒超短脉冲激光器
主要作为激光光源用于光激发电子发射、超快光场发射等，尤其是阴极发射材料、隧穿器件及各类场发射器件。波长可调节范围：340nm-4000nm；重复频率80MHz；脉冲宽度约140fs。
探针光电测试系统
主要用于各类器件如半导体器件、光电器件的电学性能测试。搭配飞秒光源及数字源表，可在大气环境下探测pA量级的光电流。