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散射型扫描近场光学显微镜（s-SNOM）将光学天线技术与扫描探针技术有机结合，利用镀铂AFM探针的天线效应在探针尖端附近产生高度局域化的强光场。由于该局域强场与样品发生近场相互作用，远场测量得到的散射信号就反应了样品该区域的光学特性。测量时AFM探针工作在轻敲模式，随着针尖的上下振动，样品被测区域中信号的强度也发生周期性变化，因此对于远场散射信号也有一个周期性调制，而针尖和样品其他区域的散射光则几乎不被调制，因此很容易利用锁相放大技术将这些背景信号从探测信号中滤除。通过探针扫描样品表面，可以同时得到样品
傅立叶变换红外光谱仪（Fourier Transform Infrared Spectrometer，简写为FTIR）是基于对干涉后的红外光进行傅立叶变换的原理而开发的红外光谱仪，主要由红外光源、光阑、干涉仪、样品室、检测器组成，可以对样品进行定性和定量分析。 Nicolet iN10TM傅立叶红外显微光谱仪采用整体化光学设计红外显微光谱仪的干涉仪具有三维激光控制自动调整和每秒13万次高精确动态准直扫描控制的领先功能；内置EverGloTM长寿命高能量红外光源、分束器和HeNe激光器等
单温区管式炉：温度可调区间为室温至1200℃，配有流量仪、气源、真空及冷却系统，可用于化学气相法沉积薄膜。流量仪可用于调节进气的种类和流量。选择合适的气源可用于沉积特定的薄膜。开启真空系统可实现低压反应，关闭真空系统可进行常压反应。冷却系统可实现高温反应时对石英管的冷却。
矢量网络分析仪：主要用于各类有源及无源器件幅频及相频特性的检测分析，尤其适用于各类滤波器的特性检测及压电器件各阶共振频率的获取。扫描频率范围：9kHz - 3GHz；双端口双向测试；扫描信号动态范围：130 dB；50Ω阻抗匹配。